等離子體表麵處理儀

AST PJ 等離子體(ti) 表麵處理儀(yi)
AST PJ 等離子體(ti) 表麵處理儀(yi) 可用於(yu) 消除固體(ti) 表麵的有機汙染物，如：金屬、陶瓷、玻璃、矽片等等，同時也可以對樣品表麵進行處理，改善樣品表麵的特性，如親(qin) 水/疏水特性，表麵自由能，以及表麵的吸附/粘附特性等等。
主要特點：
（1）采用電容耦合電極設計（US Patent. 4,887,005/5,190,703/5,228963/5,468,560/5,733,511），低失真、高效率的特性，保證了樣品室內(nei) 等離子體(ti) 分布的均一性；
（2）采用自動調頻高頻發生器，保證了等離子體(ti) 發生的穩定性和有效性；
（3）采用高精度的流速控製和壓力控製部件，保證了氣體(ti) 的高重現性混合和分布；
（4）采用軟件控製，確保控製的方便有效和實時監控；
（5）一體(ti) 化的高真空係統，確保了操作的方便性和穩定性；
（6）多種樣品室可供選擇，如耐熱玻璃和石英等，更能滿足廣大客戶的需求多；
（7）體(ti) 積小，可遠程操作，多種安全保護，保證操作的安全和方便；
（8）樣品室和功率設計合理，可滿足絕大部分科研需要；
（9）全自動操作，方便可靠。
應用領域：

（1）醫用材料的研究方麵，主要是研究和生產(chan) 企業(ye)
（2）電子領域，如電路板的生產(chan)
（3）生物芯片領域
（4）高分子材料研究單位，尤其是進行特殊處理的
（5）儀(yi) 器的實驗室，作為(wei) 清洗除汙工具，保證儀(yi) 器的正常使用
（6）光學材料單位
（7）電化學方麵，進行表麵處理的單位
（8）其他，主要進行表麵處理的單位
技術參數：
射頻功率：300W 13.56 MHz
交流電源匹配: 自動匹配
控製: 軟件控製
尺寸: 61 X 61 X 30 cm, 重量： 75 lbs
樣品室: 直徑20.3cm,深25.4cm
標準耐熱玻璃內(nei) 襯，可選石英內(nei) 襯
一種氣體(ti) 供應
氣體(ti) 供應: 包括一個(ge) MFC
可選擇: 氧氣供應泵
氣體(ti) 過濾器
壓力計
截流閥
真空泵, 11 cfm, 115v, 15 amp
真空泵過濾係統
2nd MFC
計算機
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